2013年全球LED電漿設備需求將攀升概況(三)

　　led生產工具設備大多屬於mocvd的變形電源供應器，因此，預期這些設備在2012年的銷售量將比2010與2011年更低。不過，圖形化藍寶石晶圓基板(ps電漿設備s)技術因為可以增加led亮度，因而推動led設計技術改變。在過去12～18個月，觀察到業界的大幅改變--led業界大約有80%的晶圓都使用pss技術，該技術推升pss晶圓的蝕刻與電漿工具的需求。

　　該需求導致電漿干式蝕刻工具的大幅成長。目前大約有兩百八十台干式蝕刻設備用來做pss，除此之外，從2011～2012年大概有接近兩百台的機器安裝量。2012年電漿蝕刻工具的成長將十分強勁，將比2011年還高。在其商業模式尚未建立以前，未來將有三種類型的會購買pss技術--首先是電漿鍍膜藍寶石晶圓制造商、接著是購買標准晶圓然後徑行使用pss技術AP Plasma的led制造商，最後是所謂的純pss代工廠，該將會購買基板、將其圖形化以後賣出。

　　在光阻上覆蓋圖案之後，就要進行晶體電漿蝕刻技術，目前是使用光罩的對齊設備與步進機，因此上述設備上銷售量亦有所長，不過目前這些設備並非完全適合該制程。光罩的對齊設備商努力提供專為pss制程訂做的解決方案。而步進機也面臨了如何在整個晶圓大小圖案上，可以無斷面貼合的問題。傳統使用2寸晶圓的pss良率大約是80～93%，鎢鋼銑刀但若擴大到4寸晶圓，良率就會下降到40～70%，因此就需要像是奈米光微影(nil)之類的新技鍍膜代工術。在接下來的半年內，各種企業解決方案以及使用nil的pss制造商將會出現，因為這會降低pss的成本，同時也可以增加晶圓的尺寸。